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 Inhaltsverzeichnis |
An deutschen Normen und Standards zu Kohlenstoffschichten ist bislang die VDI-Richtlinie VDI 2840: 2005-11 »Kohlenstoffschichten – Grundlagen, Schichttypen und Eigenschaften« erschienen. Sie wurde vom VDI-Fachausschuss CVD-Diamant-Werkzeuge erarbeitet. Sie können die Richtlinie als deutsch-englischsprachige Ausgabe beim Beuth-Verlag erhalten. Darüberhinaus ist aktuell eine internationale Standardisierung der Kohlenstoffschichten in Form einer ISO-Norm geplant. Mögliche Inhalte betreffen eine einheitliche Benennung sowie die Einteilung der verschiedenen Schichttypen nach Kriterien wie chemisch-physikalischer Zusammensetzung, Abscheideverfahren oder Anwendungsbereichen. Auch die Charakterisierung der physikalischen und technischen Schichteigenschaften und deren Prüfmethoden sind denkbare Inhalte für die ISO-Norm. Bei Interesse wenden Sie sich bitte an: Dr.-Ing. Jan Gäbler Fraunhofer IST Telefon +49 531 2155-625 |
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