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Fraunhofer-Institut fuer Schicht- und Oberflaechentechnik IST
 
Kohlenstoffschichten    
 
    Bei Kohlenstoffschichten unterscheidet man drei wesentliche Schichttypen:
  • Plasmapolymerschichten
    mit polymerartig verketteter Struktur aus Kohlenstoff- und Wasserstoffatomen


  • Amorphe Kohlenstoffschichten (DLC)
    mit einer vernetzten, regellosen Anordnung der Atome; sie enthalten neben Kohlenstoff meist auch Wasserstoff sowie gegebenenfalls auch weitere Elemente zur Modifizierung der Schichteigenschaften


  • Kristalline Kohlenstoffschichten
    aus kristallinem Kohlenstoff mit einem regelmäßigen atomaren Aufbau und nur geringfügigen Verunreinigungen;
    je nach Kristallgitter – Graphit oder Diamant – unterscheidet man
Kohlenstoffschichten
Plasmapolymer-
schichten
Amorphe
Kohlenstoffschichten
(DLC)
Kristalline Kohlenstoffschichten
CVD-
Diamantschichten
Graphitschichten
 
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