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Fraunhofer-Institut fuer Schicht- und Oberflaechentechnik IST
 
Kohlenstoffschichten    
 
    Kohlenstoffschichten werden mit Vakuumverfahren abgeschieden, das heißt bei einem Gasdruck unterhalb des Atmosphärendrucks. Die Schichten bilden sich in der Gasphase aus einzelnen Atomen, Molekülen oder entsprechenden Clustern. Man unterscheidet
 
 
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